તે EM8000 નું અપગ્રેડ વર્ઝન છે, જેમાં અપગ્રેડ કરેલ E-Beam ટ્યુબ એક્સિલરેશન છે, વેક્યુમ મોડમાં ફેરફાર થાય છે, સ્પુટરિંગ, સરળ, અનુકૂળ અને મૈત્રીપૂર્ણ ઓપરેશન સિસ્ટમ, બહુવિધ એક્સ્ટેન્શન રિમોડેલ પ્લાન વગર નીચા વોલ્ટેજ પર બિન-સંચાલન નમૂનાને જોવા માટે ઉપલબ્ધ છે. તે પ્રથમ FEG SEM પણ છે જેનું રિઝોલ્યુશન 1nm (30kV) છે.
ફાયદા:
1, શિટ્કી ઇલેક્ટ્રોન ગન, ઉચ્ચ તેજ, સારી મોનોક્રોમેટીસીટી, નાના બીમ સ્પોટ, લાંબુ આયુષ્ય.
2, ઇ-બીમ ટ્યુબ એક્સેલેરેશન સાથે, વૈકલ્પિક તબક્કામાં મંદી
3, સ્થિર બીમ વર્તમાન, ઓછી energyર્જા ફેલાય છે
4, બિન-સંચાલિત નમૂના ઓછા વોલ્ટેજમાં સ્પુટરિંગ વગર અવલોકન કરે છે
5, સરળ, અનુકૂળ અને મૈત્રીપૂર્ણ ઓપરેશન ઇન્ટરફેસ
6, વિશાળ 5 અક્ષ મોટરચાલિત મંચ
સ્પષ્ટીકરણો:
રૂપરેખાંકન | |
ઠરાવ | 1nm@30kV (SE) |
3nm@1Kv (SE) | |
2.5nm@30kV (BSE) | |
વિસ્તૃતીકરણ | 15x-800,000x |
વોલ્ટેજ વેગ | 0-30kV સતત અને એડજસ્ટેબલ |
ઇલેક્ટ્રોન ગન | શોટકી ક્ષેત્ર ઉત્સર્જન બંદૂક |
કેથોડ એમીટર | ટંગસ્ટન મોનો-સ્ફટિક |
પાંચ અક્ષ યુસેન્ટ્રીક ઓટો સ્ટેજ | X: 0 ~ 150mm |
Y: 0 ~ 150mm | |
ઝેડ: 0 ~ 60 મીમી | |
આર: 360 | |
ટી: -5~75 | |
મહત્તમ નમૂનો | 320 મીમી |
એલ*ડબલ્યુ*એચ | 342mm*324mm*320mm (ચેમ્બરના કદની અંદર) |